激光干涉儀是*常使用的加工中心檢測設備，它是精密長度測量和確立線位移精度的標準。
首先，新機床出廠前都要進行定位精度和重復定位精度以及反向間隙的檢測，現在大多使用激光干涉儀進行。
首先，新機床出廠前都要進行定位精度和重復定位精度以及反向間隙的檢測，現在大多使用激光干涉儀進行。
其次，任何機床加工設備，在長時間的使用都會由于自身磨損或者其它一些原因造成加工超差的發生。立式加工中心也不列外，一般出現這種情況時，都要進行機床精度檢測。機床使用一段時間后,由于絲杠的磨損和其它原因,精度會逐漸喪失,這時需要使用激光干涉儀進行精度的再校準。
*后，激光干涉儀還可以進行其它項目的檢測，例如直線度，垂直度，角度等。
采用激光干涉儀可以提供調整線位移位置的能力，以修正行程誤差也就是節距誤差。此外，許多新型的激光干涉儀能提供在兩個正交方向的直線度修正和坐標正交性的修正。
誤差修正常常是基于三維網格方式，它們是加工中心有效空間的一組點位。對網格中的每一個特定的X、Y和Z的點，給出一個修正值。對每一個點，誤差綜合成一個修正值就需要建立誤差模型和進行計算，通過激光干涉儀可以輕而易舉的進行修正。
如果一個控制器不能補償立式加工中心的所有誤差并且單獨的線位移補償不能提供期望的結果，其修正仍然可以實現，只要變換由標尺(編碼器)系統提供給控制器的信息即可。這需要使用第二個控制器來實現，第二個控制器將會變換提供給基于誤差模型分 析軟件的立式加工中心原來控制器的機床標尺信息，不管怎樣所得到的結果是相同的。
用激光系統來評定加工中心可以作快速和綜合的分析，這些工作若用其它方法來做，將很耗費時間且又不經濟。用激光測試儀誤差模型軟件分析數據降低了處理過程的復雜性，并可不斷生產出合格工件。
